[发明专利]一种利用糖作掩模的微纳加工方法在审
| 申请号： | 201611245364.1 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108249389A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 杨兴;章城;朱华敏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/04;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京博讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11593 | 代理人： | 吕战竹 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用糖作掩模的微纳加工方法，其包括步骤：S10、提供熔融状态的糖或糖溶液；S20、将熔融状态的糖或糖溶液施加到待加工的样品表面，形成掩模图案；S30、对形成掩模图案后的样品进行微纳加工；S40、将微纳加工后的样品放入糖溶性液体中，以去除样品表面的糖。本发明的微纳加工方法能够提高微纳加工的精度和效率，降低成本，同时大大减轻对环境和操作人员人身健康的不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | 微纳加工 熔融状态 掩模图案 样品表面 糖溶液 掩模 人身健康 放入 去除 施加 加工 | ||
【主权项】：
1.一种利用糖作掩模的微纳加工方法，其特征在于，包括步骤：S10、提供熔融状态的糖或糖溶液；S20、将熔融状态的糖或糖溶液施加到待加工的样品表面，形成掩模图案；S30、对形成掩模图案后的样品进行微纳加工；S40、将微纳加工后的样品放入糖溶性液体中，以去除样品表面的糖。
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