[发明专利]一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统有效
| 申请号： | 201611245753.4 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106501551B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 曹弘毅;张雷;姜明顺;隋青美;曹玉强;张法业 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01Q60/40 | 分类号： | G01Q60/40;G01Q60/24;G01Q70/16;G01Q70/08 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统，基于光纤的原子力显微镜探头包括探针和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间距离的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F‑P腔所调制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 原子 显微镜 探头 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于光纤的原子力显微镜探头，其特征在于，包括探针、光纤和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，其特征在于：所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间力的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F‑P腔所调制；在所述微悬臂梁设置探针一侧，镀有金属反射膜、电介质反射膜或高分子反射膜，镀层厚度在10nm‑1000nm之间；所述金属反射膜、电介质反射膜或高分子反射膜的反射率在90%以上；所述探针的结构为四棱锥或圆锥，与所述微悬臂梁、光纤F‑P腔采用一体成型结构；所述微悬臂梁探针及F‑P腔结构加工时需要将光纤外层涂覆层剥去，只保留裸光纤。
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