[发明专利]一种等离子体处理装置及其射频滤波电路在审
| 申请号： | 201611254289.5 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108270412A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 梁洁;崔强;叶如彬 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H1/02 | 分类号： | H03H1/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 潘朱慧 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频滤波电路和应用该射频滤波电路的等离子体处理装置，其中，所述射频滤波电路包括，一级滤波器和二级滤波器，所述二级滤波器包括两个或两个以上的滤波器并行连接，所述一级滤波器通过一开关可选择地和二级滤波器中的其中之一相连；所述射频滤波电路还包括一加热装置及一直流电源，所述直流电源用于对所述加热装置进行加热；所述一级滤波器和二级滤波器设置于所述加热装置及所述直流电源之间，用于过滤射频信号自所述加热装置进入所述直流电源。利用本发明的射频滤波电路可以大大降低调节难度，提高射频滤波电路的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波电路 射频 二级滤波器 加热装置 直流电源 一级滤波器 等离子体处理装置 滤波器 并行连接 射频信号 加热 过滤 应用 | ||
【主权项】：
1.一种射频滤波电路，其特征在于，包括，一级滤波器和二级滤波器，所述二级滤波器包括两个或两个以上的滤波器并行连接，所述一级滤波器通过一开关可选择地和二级滤波器中的其中之一相连。
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