[发明专利]荫罩、荫罩的制造方法和显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201611256253.0 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN107119253B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 大河原健 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种所堆积的成膜材料不易剥落的荫罩和使用该荫罩制造的显示装置。在通过蒸镀或者溅射使成膜材料堆积的成膜处理中用于图案形成的荫罩，其包括：设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜；形成有缝隙的、设置在上述第1树脂膜的上方的金属部；和以覆盖上述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜，上述第2树脂膜设置在暴露于上述成膜材料的一侧，上述第2树脂膜的表面被粗化。 | ||
| 搜索关键词： | 荫罩 制造 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种荫罩，其特征在于，包括：设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜；形成有缝隙的、设置在所述第1树脂膜的上方的金属部；和以覆盖所述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜，所述第2树脂膜设置在暴露于所述成膜材料的一侧，所述第2树脂膜的表面被粗化。
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