[发明专利]一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201611257092.7 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106801252B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;习小青;贾建广;陶能松;孔令珂;周华 | 申请（专利权）人： | 江西中材太阳能新材料有限公司;中材江苏太阳能新材料有限公司;中材高新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C04B28/24;C04B26/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 338000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体包括底座及由底座向上延伸的侧壁，所述底座的内表面和/或侧壁的内表面上设置有高纯石英涂层，高纯石英涂层的材料包括质量比为1:(0.1‑2)：(0‑0.5)：(0‑0.5)的熔融石英、低温石英、氮化硅、硅，质量含量为0‑1000ppm的氢氧化钡、氧化锆，质量占比≤25％的粘结剂。该坩埚通过在坩埚本体内表面涂覆制备高纯石英涂层，高纯石英涂层在铸锭过程中最终转化成高致密性涂层，从而可有效阻隔坩埚中的杂质向硅锭中扩散，降低硅锭边部和底部红区，提高整体硅锭质量，同时降低坩埚制备成本。本发明还提供了一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 石英 陶瓷 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体包括底座及由底座向上延伸的侧壁，其特征在于，所述底座的内表面和/或所述侧壁的内表面上设置有高纯石英涂层，所述高纯石英涂层的材料包括质量比为1:(0.1‑2)：(0‑0.5)：(0‑0.5)的熔融石英、低温石英、氮化硅、硅，质量含量为0‑1000ppm的氢氧化钡、质量含量为0‑1000ppm的氧化锆，以及包括质量占比≤25％的粘结剂，上述各组分均匀分布在所述高纯石英涂层中，所述熔融石英的纯度大于99.95％，所述低温石英的纯度大于99.99％。
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