[发明专利]用于监测人体生理信号的柔性压力传感器及其制造方法有效
申请号: | 201611257435.X | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN108267248B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 陈智博;黄伟;袁铭辉 | 申请(专利权)人: | 香港科技大学深圳研究院;香港科技大学 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22 |
代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 郭伟刚 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区高新科技*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于监测人体生理信号的柔性压力传感器及其制造方法。所述方法包括:在预设有微结构列阵的模具工作面的预设区域上,印刷柔性导电材料,形成下电极薄膜;在下电极薄膜和模具工作面上,印制柔性聚合物形成柔性基板;将预先制备好的上电极薄膜同时与下电极薄膜和柔性基板封装在一起形成柔性压敏电阻。本发明通过制备带有微结构列阵的模具上,制备下电极薄膜和柔性基板,使得它们具有特殊形状的导电微结构和支撑微结构,并配合无特殊微结构的上电极薄膜封装成具有高灵敏度的柔性压敏电阻,供柔性压力传感器的制备,使得柔性压力传感器的制备方法简单快捷,大大降低了制备成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 监测 人体生理 信号 柔性 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于监测人体生理信号的柔性压力传感器制造方法,其特征在于,所述方法包括:在预设有微结构列阵的模具工作面的预设区域上,印制柔性导电材料,所述柔性导电材料由金属颗粒与柔性聚合物混合构成;采用预设温度对印制好的柔性导电材料进行加热固化,形成下电极薄膜;在下电极薄膜和模具工作面上,印制柔性聚合物并固化,形成用于支撑下电极薄膜的柔性基板;采用剥离工艺,将模具从下电极薄膜和柔性基板的表面剥离,形成表面具有多个导电微结构的下电极薄膜和表面具有多个支撑微结构的柔性基板;将预先制备好的上电极薄膜同时与下电极薄膜的导电微结构和柔性基板的支撑微结构接触并封装在一起,形成柔性压敏电阻,所述柔性压敏电阻用于与相应信号监测电路连接,组成柔性压力传感器。
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