[发明专利]一种碱金属钨青铜薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201611257611.X | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108265263A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 金平实;辛云川;包山虎;李荣;曹逊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 郑优丽;熊子君 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碱金属钨青铜薄膜的制备方法，在含碱金属玻璃表面沉积亚化学计量比的氧化钨薄膜后，于非氧化性气氛或真空环境中在350‑750℃退火，得到所述碱金属钨青铜薄膜；所述含碱金属玻璃为包含有Na或/和K的玻璃。本发明通过在普通碱金属玻璃表面直接沉积亚化学计量比的氧化钨薄膜，后在大气或真空环境下高温退火。利用热扩散效应，玻璃中的钠（钾）元素进入氧化钨层，形成钠（钾）钨青铜。 | ||
| 搜索关键词： | 钨青铜 碱金属 碱金属玻璃 薄膜 亚化学计量比 氧化钨薄膜 真空环境 制备 退火 非氧化性气氛 热扩散效应 玻璃 表面沉积 高温退火 氧化钨层 直接沉积 | ||
【主权项】：
1.一种碱金属钨青铜薄膜制备方法，其特征在于，在含碱金属玻璃表面沉积亚化学计量比的氧化钨薄膜后，于非氧化性气氛或真空环境中在350‑750℃退火，得到所述碱金属钨青铜薄膜；所述含碱金属玻璃为包含有Na或/和K的玻璃。
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