[发明专利]多样式产品的品质推估方法

摘要

本发明实施例提供一种多样式产品的品质推估方法。此品质推估方法是调整生产系统的状态改变前的工件样本的实际量测值数据，并使用工件样本的制程参数与调整后实际量测值数据，来建立或重新训练推估模型，以进行不同形式的下一工件(产品)的品质推估，因而可迅速且精确地预测产品品质。

主权项

1.一种多样式产品的品质推估方法，其特征在于，该多样式产品的品质推估方法包含：获得分别对应至多个第一工件的多组第一制程参数，其中所述多组第一制程参数是在一生产系统分别处理所述多个第一工件时所搜集到或所使用；获得分别对应至所述多个第一工件的多个第一实际量测值，其中所述多个第一实际量测值是由一量测机台分别对被该生产系统处理后的所述多个第一工件进行量测而得；计算一决定性样本集合中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得一第一平均实际量测值，其中该决定性样本集合中的工件是在该生产系统处理完所述多个第一工件后被处理，该决定性样本集合中的工件的制程参数是在该生产系统分别处理工件时所搜集到或所使用，该决定性样本集合中的工件的实际量测值是由该量测机台分别对被该生产系统处理后的工件进行量测而得；对所述多个第一实际量测值进行排序；计算排序后的所述多个第一实际量测值中每相邻的二第一实际量测值间的一差值的绝对值；由所述多个第一工件中找出多个断点，所述多个断点为当该差值大于或等于一断点门槛值时该每相邻的二第一实际量测值的一者所对应的工件；根据所述多个断点将所述多个第一工件分成多个群组；计算每一所述群组中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得多个第二平均实际量测值；分别调整所述多个第一工件的所述实际量测值为多个标的量测值，其中每一所述标的量测值为其对应的第一工件的实际量测值减其所属的群组的第二平均实际量测值后，再加上该决定性样本集合的该第一平均实际量测值；以及使用所述多个第一工件的所述多组第一制程参数和所述多个标的实际量测值，并根据一预测演算法，来建立或重新训练一推估模型。