[发明专利]一种太阳能电池制备方法

摘要

本申请公开了一种太阳能电池制备方法，包括步骤S1将硅片依次进行清洗制绒、PN结扩散以及刻蚀去除磷硅玻璃；步骤S2在PN结扩散层表面沉积SiNx薄膜，得到镀有一层SiNx薄膜的硅片，反应腔中温度升高至预设温度，同时静置预设时间，再次沉积SiNx薄膜，得到镀有两层SiNx薄膜的硅片；步骤S3对镀有两层SiNx薄膜的硅片的正反面进行丝网印刷，形成正电极、背电极以及背电场，并将其烧结，得到太阳能电池。本发明主要针对氢钝化的效果进行进一步地优化，在电池片镀膜过程中反应腔中温度升高至预设温度，同时静置预设时间，有效地推进氢原子与其他悬挂键或电池体内的其他缺陷、杂质的结合，使SiNx薄膜中氢含量增加，提升电池转换率。

主权项

一种太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：步骤S1：将硅片依次进行清洗制绒、PN结扩散以及刻蚀去除磷硅玻璃；步骤S2：在PN结扩散层表面沉积SiNx薄膜，得到镀有一层SiNx薄膜的硅片，反应腔中温度升高至预设温度，同时静置预设时间，再次沉积所述SiNx薄膜，得到镀有两层SiNx薄膜的硅片；步骤S3：对所述镀有两层SiNx薄膜的硅片的正反面进行丝网印刷，形成正电极、背电极以及背电场，并将其烧结，得到太阳能电池。