[发明专利]套刻机台测试焦点的套刻标记

摘要

本发明涉及一种套刻机台测试焦点的套刻标记，多个第一长标记、多个第二长标记、多个第一短标记与多个第二短标记均采用一半采用矩形标记与光栅状标记，使得光栅状标记与矩形标记的复合标记在焦点最佳时、套刻机台识别的复合标记中心点在中心位置。因此，在具有套刻标记的图层没有画得对偏的状况下，焦点对齐条件是套刻偏移量接近0，但是随着焦点往正或者往负，套刻偏移量会显著增大，根据套刻偏移量测结果可以推算出焦点对齐的位置。

主权项

1.一种套刻机台测试焦点的套刻标记，所述套刻标记包括横向标记和纵向标记；其特征在于，所述横向标记包括多个第一长标记和多个第一短标记，所述多个第一长标记与多个第一短标记平行排列；所述第一长标记包括第一长矩形标记和第一光栅状标记，所述第一长矩形标记与所述第一光栅状标记平行排列；所述第一短标记与所述第一长标记的排列形状相似，所述第一短标记的长度为第一长标记的长度1/4到1/3；所述纵向标记包括多个第二长标记和多个第二短标记，所述多个第二长标记与多个第二短标记平行排列；所述第二长标记包括第二长矩形标记和第二光栅状标记，所述第二长矩形标记与所述第二光栅状标记平行排列；所述第二短标记与所述第二长标记的排列形状相似，所述第二短标记的长度为第二长标记的长度1/4到1/3；所述多个第一长标记与所述多个第二长标记呈口字型排列形成外层标记；所述多个第一短标记与所述多个第二短标记呈口字型排列形成内层标记，且所述内层标记被所述外层标记包围。