[发明专利]等离子体清洗光伏硅片有机污物设备

摘要

本发明提供了一种等离子体清洗光伏硅片有机污物设备，包括倒U型的支撑框架，支撑框架的顶边上设置有可以水平方向移动的移动工作台，所述的移动工作台上设有等离子体灭菌器，支撑框架的下方设有传送需要清洗的光伏硅片的流水线传送带，等离子体灭菌器与流水线传送带的垂直距离可调。本发明解决了现有硅片清洗技术对环境造成的严重污染问题，采用物理方法，简单便捷，成本低廉，不涉及化学溶剂，无酸液无残留，环境友好；同时还可以去除硅片表面的小颗粒，减少工序。

主权项

一种等离子体清洗光伏硅片有机污物设备，其特征在于：包括倒U型的支撑框架，支撑框架的顶边上设置有水平方向位移的移动工作台，所述的移动工作台上设有等离子体灭菌器，支撑框架的下方设有传送需要清洗的光伏硅片的流水线传送带，该等离子体灭菌器与流水线传送带的垂直距离可调；所述的等离子体灭菌器包括等离子体发生电源、等离子体喷射机头和安装件，该安装件为C字型，等离子体喷射机头与安装件的一端相连，安装件与移动工作台的中部连接，等离子体喷射机头通过高压绝缘线缆与等离子体发生电源的一极连接，等离子体发生电源的另一极连接安装台。