[实用新型]一种实现高精度旋转运动的微位移放大装置有效
| 申请号： | 201620016504.7 | 申请日： | 2016-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN205376486U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 胡吉全;黄志威;明廷鑫;梅杰 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种实现高精度旋转运动的微位移放大装置，包括压电陶瓷驱动器和柔性放大机构，压电陶瓷驱动器的输入端通过柔性铰链与柔性放大机构一端连接，柔性放大机构另一端设有输出端，柔性放大机构包括多个杆件，多个杆件形成杠杆结构，将压电陶瓷驱动器输入的直线位移通过柔性放大机构内的杠杆结构放大并转化为转角输出，实现高精度的旋转运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 高精度 旋转 运动 位移 放大 装置 | ||
【主权项】：
一种实现高精度旋转运动的微位移放大装置，其特征在于，包括压电陶瓷驱动器和柔性放大机构，压电陶瓷驱动器的输入端通过柔性铰链与柔性放大机构一端连接，柔性放大机构另一端设有输出端，柔性放大机构包括多个杆件，多个杆件形成杠杆结构，将压电陶瓷驱动器输入的直线位移通过柔性放大机构内的杠杆结构放大并转化为转角输出，实现高精度的旋转运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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