[实用新型]一种角度依赖的光子晶体氢气传感器有效
| 申请号： | 201620017730.7 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN205384222U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 周平伟;朱礼国;杜良辉;翟召辉;李江;钟森城;王德田;刘乔;孟坤 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，在石英衬底上制备二氧化钛光子晶体，周期可调，在光子晶体两个侧面分别生长钯基合金薄膜，厚度可调，激光光束准直后以一固定角度（通常为光子晶体共振角度）入射到光子晶体上，此时的透射系数为0%，钯吸附氢气后体积会发生膨胀，从而拉伸光子晶体，使其周期变长，共振角度向大角度方向移动，入射角度位置的透射系数可以变化到70%以上，与传统反射式氢气传感器相比，灵敏度可以提高2-3个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 依赖 光子 晶体 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
一种角度依赖的光子晶体氢气传感器，其特征在于包括激光光源、光子晶体探头和探测器，所述激光光源经过准直器准直成平行光后入射到光子晶体探头，光子晶体探头背面设置探测器，所述激光光源与探测器为连动式，所述光子晶体探头包括在石英表面生长的二氧化钛脊型光子晶体，所述二氧化钛脊型光子晶体侧面生长有一层钯基合金。
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