[实用新型]一种基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造装置

摘要

本实用新型公开了一种基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造装置。铌酸锂晶片上制有两对正交排布的铜质叉指电极，叉指电极与铌酸锂晶片构成叉指换能器，PDMS微流道覆盖在铌酸锂晶片的正中央，PDMS微流道内均布有光敏压电混合液，紫外光源置于铌酸锂晶片下方；两对叉指换能器在铌酸锂晶片上激发声表面波，四列行波在PDMS微流道覆盖区域叠加形成稳定的二维驻波场，光敏压电混合液中的压电颗粒在声辐射力作用下向声场节点移动，从而形成阵列排布的压电单元，待压电单元排布稳定后，采用紫外光源对光敏压电混合液进行照射使其交联固化。本实用新型具有精度高、操作简便、可控性强和生产率高等特点。

主权项

一种基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造装置，其特征在于：包括铌酸锂晶片(2)、铜质叉指电极(1)、PDMS微流道(3)和紫外光源(8)，铌酸锂晶片(2)的上表面形成有两对正交排布的铜质叉指电极(1)，铜质叉指电极(1)与铌酸锂晶片(2)构成叉指换能器，各个铜质叉指电极(1)与信号发生器(5)的输出通道相连，PDMS微流道(3)覆盖在铌酸锂晶片(2)的正中央，四个铜质叉指电极(1)分别位于PDMS微流道(3)的周围四边并呈对称分布，紫外光源(8)置于铌酸锂晶片(2)下方。