[实用新型]基板的清洗装置有效
| 申请号： | 201620064362.1 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205324225U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 甄常刮 | 申请（专利权）人： | 纳晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08;F26B5/14 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了基板的清洗装置，旨在解决现有的清洗装置清洗基板时清洗效果差的问题。基板的清洗装置，包括清洗槽、高压喷水装置和擦拭装置；清洗槽包括槽体、转动装置和喷气装置；基板水平安装在转动装置上且在转动装置的带动下在水平面内旋转；喷气装置设置在槽体内壁上且朝向基板的中心区域喷气；槽体上设有排水装置；高压喷水装置包括第一机械臂和高压喷头，第一机械臂控制高压喷头进入槽体内且朝向基板喷出高压水。擦拭装置可以将基板表面擦拭干净。高压喷水装置可以将擦拭后残留在基板上的泥污冲洗干净；此外，基板在转动装置的带动下在水平面内旋转，在旋转时，对基板进行高压喷水可以将基板死角内的污垢清理干净，提高了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
基板的清洗装置，其特征是：包括清洗槽、高压喷水装置和用于擦拭基板(01)的擦拭装置；清洗槽包括槽体(1)、转动装置和喷气装置；转动装置设置在槽体(1)内，基板(01)水平安装在转动装置上且在转动装置的带动下在水平面内旋转；喷气装置设置在槽体(1)内壁上且朝向基板(01)的中心区域喷气；槽体(1)上设有排水装置；高压喷水装置包括第一机械臂(61)和高压喷头(62)，第一机械臂(61)控制高压喷头(62)进入槽体(1)内且朝向基板(01)喷出高压水。
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