[实用新型]探针卡及测试系统有效
申请号: | 201620064514.8 | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN205374532U | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
发明(设计)人: | 牛刚 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 300385 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开一种探针卡及测试系统,所述探针卡还包括至少一个接通装置,每个接通装置具有第一端和第二端并分别与两个不同金手指连接,仅在与接通装置的第一端连接的金手指通电时,所述接通装置的第二端连接的金手指的电位与所述接通装置的第二端连接的金手指的电位才相同。由于本实用新型的探针卡具有接通装置,使得探针卡可以满足具有多于4个测试端的器件的测试的需求,而无需重新设计探针卡的布局,降低了成本及工作时间的消耗。 | ||
搜索关键词: | 探针 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种探针卡,包括基板,设置于所述基板上的探针、探针连接点和金手指,所述每一个探针对应一个探针连接点和一个金手指,所述探针同与其对应的探针连接点连接,所述金手指与测试机连接,其特征在于,还包括至少一个接通装置,每个接通装置具有第一端和第二端并分别与两个不同金手指连接,仅在与接通装置的第一端连接的金手指通电时,所述接通装置的第二端连接的金手指的电位与所述接通装置的第二端连接的金手指的电位才相同。
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