[实用新型]光学镀膜机快速无尘进气系统有效
| 申请号： | 201620064717.7 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205347561U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李雪高 | 申请（专利权）人： | 东莞市长益光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连平 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学镀膜领域，具体涉及光学镀膜机快速无尘进气系统，包括过滤装置、电磁阀和压力调节阀，所述过滤装置包括至少一个过滤器，过滤装置的出气端与压力调节阀的进气端连通，压力调节阀的出气端与电磁阀的进气端连通。无尘进气系统工作时，进气口通入一定的洁净空压气体，气体首先通过过滤装置，气体在过滤装置中得到过滤，形成无尘的气体，再通过压力调节阀调节气压，经过电磁阀的自动控制有序的排出，为无尘设备提供符合光学镀膜标准的气体，本实用新型结构简单，安装方便，不仅满足了镀膜品质的要求，还能有效提高进气效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 快速 无尘进气 系统 | ||
【主权项】：
光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，包括过滤装置、电磁阀(2)和压力调节阀(3)，所述过滤装置包括至少一个过滤器(1)，所述过滤装置的出气端与压力调节阀(3)的进气端连通，所述压力调节阀(3)的出气端与电磁阀(2)的进气端连通。
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