[实用新型]一种晶棒圆度校准仪有效
申请号: | 201620066043.4 | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN205317138U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 孙明祥 | 申请(专利权)人: | 浙江好亚能源股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/20 | 分类号: | G01B5/20 |
代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 郑文涛 |
地址: | 314419 浙江省嘉兴市浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提出一种晶棒圆度校准仪,能够快速调整百分表位置,它包括设于同一平台上的立柱和托盘,百分表通过表架安装在立柱上,立柱的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽,表架上适于与限位滑槽滑动配合的配合部的形状与限位滑槽的形状相匹配,限位滑槽两相对侧壁上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽;还包括适于将表架锁定在立柱上合适位置的锁定装置;锁定装置包括两交叉设置的锁杆、将两锁杆铰接安装在配合部上的定位销、以及为两锁杆提供锁定弹力的弹簧,各锁杆的一端为锁定端,其上设有适于与定位齿槽配合的定位凸齿,各锁杆另一端为解锁端,其上设有解锁按钮。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶棒圆度 校准 | ||
【主权项】:
一种晶棒圆度校准仪,包括设于同一平台上的立柱(1)和托盘(2),所述托盘(2)受驱动装置驱动绕自身轴线转动,所述立柱(1)垂直固定在所述平台上,百分表(3)通过表架(5)安装在所述立柱(1)上,其特征在于,所述立柱(1)的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽(6),所述限位滑槽(6)的横截面形状为T字形,所述表架(5)上适于与所述限位滑槽(6)滑动配合的配合部的形状与所述限位滑槽(6)的形状相匹配,所述限位滑槽(6)两相对侧壁上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽(7);还包括适于将所述表架(5)锁定在所述立柱(1)上合适位置的锁定装置;所述锁定装置包括两交叉设置的锁杆(8)、将两锁杆(8)铰接安装在所述配合部上的定位销(9)、以及为两锁杆(8)提供锁定弹力的弹簧(10),所述各锁杆(8)的一端为锁定端(11),其上设有适于与所述定位齿槽(7)配合的定位凸齿(12),所述各锁杆(8)另一端为解锁端(13),其上设有解锁按钮(19),在常态下,所述弹簧(10)为所述两锁杆(8)提供向外的锁定弹力,以使所述锁定端(11)的定位凸齿(12)与所述定位齿槽(7)配合形成锁定。
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