[实用新型]一种高纯气体充装系统有效
申请号: | 201620071772.9 | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN205331790U | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 钱亮;钱国强 | 申请(专利权)人: | 池州森大轻工制品有限公司 |
主分类号: | F17C5/06 | 分类号: | F17C5/06;F17C13/02 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 章登亚 |
地址: | 247000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型属于气体充装技术领域,具体涉及一种高纯气体充装系统;针对传统充装系统功能单一的缺陷,提供一种集检测、纯化、置换功能为一体的气体充装系统;包括储罐、充装泵、充气管路、纯化器、充装排、气瓶、真空泵、分析仪、气体回流管路;利用分析仪的检测功能、纯化器的纯化功能、真空泵的辅助置换功能及这些功能之间的协同作用,实现了对充装过程气体的纯度的绝对控制,是一种实用、有效的高纯气体充装系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 气体 系统 | ||
【主权项】:
一种高纯气体充装系统,其特征是:所述高纯气体充装系统包括储罐(1)、充装泵(2)、充气管路(3)、纯化器(4)、充装排(5)、气瓶(6)、真空泵(7)、分析仪(8)、气体回流管路(9);充气泵(2)连接储罐(1),充气管路(3)一端连接充气泵(2)、另一端连接充装排(5);纯化器(4)并联于充气管路(3)上,充气管路(3)被并联段设置阀门;气瓶(6)固定在充装排上,同时设置气体回流管路(9)连接气瓶;真空泵(6)连接在充装排上;设置分析仪(8),采样点分别设置在充气管路(3)和充装排(5)与真空泵(7)连接管路上。
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