[实用新型]靶材的旋转移动支撑装置有效
| 申请号： | 201620093579.5 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN205329152U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王志新;马明星;张志汉;张宪斌 | 申请（专利权）人： | 郑州启航精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 451191 河南省郑州市新郑市龙湖镇107国道西侧、*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材的旋转移动支撑装置，包括导轨支架，导轨支架上滑动导向装配有工作台，工作台上螺纹传动装配有丝杠，导轨支架的一端固定有移动电机，移动电机通过减速器驱动丝杠转动，工作台上转动装配有旋转平台，旋转平台上止转装配有蜗轮，蜗轮与一蜗杆啮合传动，所述蜗杆由固定在工作台上的旋转电机驱动。本实用新型的工作台由旋转电机通过丝杠驱动沿着导轨支架移动，用来进行位置调整，而工作台上的旋转平台由转动电机通过蜗轮蜗杆机构驱动转动，用来进行角度调整，使得靶材能满足不同类型的工件进行离子束辅助沉积镀膜时对靶材的角度和距离的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 移动 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材的旋转移动支撑装置，其特征在于：包括导轨支架，导轨支架上滑动导向装配有工作台，工作台上螺纹传动装配有丝杠，导轨支架的一端固定有移动电机，移动电机通过减速器驱动丝杠转动，工作台上转动装配有旋转平台，旋转平台上止转装配有蜗轮，蜗轮与一蜗杆啮合传动，所述蜗杆由固定在工作台上的旋转电机驱动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州启航精密科技有限公司，未经郑州启航精密科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620093579.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种山楂莱菔子保健酒及其制备方法
- 下一篇：一种酱香型白酒续糟发酵埋藏法
- 同类专利
- 专利分类
