[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201620093640.6 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN205347563U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 侯汉成 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，其具有一放置蒸镀材料的容纳腔；所述坩埚本体的侧壁和底部远离所述容纳腔的一侧分别具有第一凹陷部和第二凹陷部；所述第一凹陷部和第二凹陷部的内壁与冷却水通过的腔壁未直接接触。本实用新型的提供了一种蒸镀坩埚，其保温性能较好，无需增加电子枪的加热功率也可以使蒸镀材料的蒸发速率满足蒸镀的要求，降低了贵金属材料的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，其特征在于：包括坩埚本体，其具有一放置蒸镀材料的容纳腔；所述坩埚本体的侧壁和底部远离所述容纳腔的一侧分别具有第一凹陷部和第二凹陷部；所述第一凹陷部和第二凹陷部的内壁与冷却水通过的腔壁未直接接触。
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