[实用新型]气动悬浮式微球涂层装置有效
| 申请号： | 201620128052.1 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN205329151U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 罗炳池;吴卫东;李文琦;李恺;罗江山;张建波;张吉强;何玉丹;戴亚平 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气动悬浮式微球涂层装置，属于微层表面涂层材料的制备技术领域，其包括真空室、气流板、多个靶枪和进气管，气流板设置于真空室内，靶枪具有靶口，靶口位于气流板上方的真空室内并朝向气流板设置，气流板具有上表面和下表面以及第一侧面，气流板设有贯通上表面的多个气流孔和贯通第一侧面的导气通道，多个气流孔分别与导气通道相连通，导气通道连通进气管。通过进气管进气，并从气流孔向上吹出，使放置在气流孔处的微球悬浮，从靶口溅射出的涂层材料与微球接触在微球表面涂层。受到下方气流影响，微球在靶口与气流孔之间悬浮和自由随机转动，保证微球涂层均匀性，同时将靶枪掉落的渣屑吹走，防止沾染微球，影响光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 气动 悬浮 式微 涂层 装置 | ||
【主权项】：
一种气动悬浮式微球涂层装置，其特征在于，包括真空室、气流板、多个靶枪和进气管，所述气流板设置于所述真空室内，所述多个靶枪具有靶口，所述靶口位于所述气流板上方的所述真空室内并朝向所述气流板设置，所述气流板具有上表面和下表面以及连接于所述上表面和所述下表面之间的第一侧面，所述气流板设有贯通所述上表面的多个气流孔以及贯通所述第一侧面的多根导气通道，所述多个气流孔分别与所述多根导气通道相连通，多根所述导气通道连通所述进气管。
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