[实用新型]一种炉管装置

摘要

本实用新型提供一种炉管装置，所述炉管装置包括一与晶舟同步旋转的触发部，所述触发部周围设有一可做水平圆周运动的位置传感器，且所述位置传感器与所述触发部的运动轨迹同心。本实用新型的炉管装置中，晶舟位置传感器为非固定状态，且所述位置传感器与触发器的运动轨迹同心，可以实时根据不同制程的需求来调整晶舟在反应腔里面的位置。在制程开始前，可将所述位置传感器调整到预设初始位置，所述触发器进而转动到所述位置传感器处，使得晶舟位于该初始位置，从而在制程开始的关键时段，反应气体不会被晶柱挡住，使得淀积的薄膜电阻分布均匀。

主权项

一种炉管装置，包括：基座；设于所述基座上的外管及内管，且所述内管位于所述外管内；设于所述内管中的用于承载晶圆的晶舟，所述晶舟通过一晶舟承载装置装设于所述基座上；所述晶舟包括上底及下底，所述上底与下底之间连接有至少三根晶柱；设于所述基座侧壁上的至少一条进气管道；所述进气管道与所述内管连通，并通过设于所述基座上的喷嘴向所述内管输送气体；其特征在于：所述晶舟承载装置与一旋转驱动装置相连，在所述旋转驱动装置的驱动作用下轴旋转，并带动所述晶舟轴旋转；所述炉管装置还包括一与所述晶舟同步旋转的触发部，所述触发部周围设有一可做水平圆周运动的位置传感器，且所述位置传感器与所述触发部的运动轨迹同心。