[实用新型]一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置有效
| 申请号： | 201620321884.5 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN205599642U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 孟鑫;李旺;陈阳泉;钱金梁 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/02 | 分类号： | B08B15/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，包括柜体，所述柜体内部顶端设置有进气孔，所述柜体外部顶端设置有与进气孔相通的进气管，所述进气管与气源连通，所述进气孔下部的柜体内部安装有匀气板；所述柜体内部底端设置有排气孔，所述柜体外部底端设置有排气管，所述排气管与吸尘装置连通；所述柜体外部底端还安装有行走轮，本实用新型结构简单，操作方便，能有效的解决舟内粉尘问题不会对车间造成污染和降低使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清理 pecvd 石墨 舟舟内 粉尘 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种清理管式PECVD石墨舟舟内粉尘的辅助装置，其特征在于包括柜体，所述柜体内部顶端设置有进气孔，所述柜体外部顶端设置有与进气孔相通的进气管，所述进气管与气源连通，所述进气孔下部的柜体内部安装有匀气板；所述柜体内部底端设置有排气孔，所述柜体外部底端设置有排气管，所述排气管与吸尘装置连通；所述柜体外部底端还安装有行走轮。
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