[实用新型]一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置有效
| 申请号： | 201620363807.6 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN206479133U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 沈蓓颖;李秦霖;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/245 | 分类号： | G01B5/245 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201604 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置，其特征在于竖直支架2、挡块7和量块8垂直固定于基座1上；测量千分表5通过螺丝10固定在水平支架3上，且与基座1的平面平行；水平支架3通过螺丝4垂直固定于竖直支架2上，且与量块8垂直；以及用于校正的标准量块。本实用新型提供的测量装置具有测量方便快捷、重复性高的特点，不仅适用于蓝宝石晶棒的垂直度测量，也适用于其他工件的垂直度测量。同时其千分尺测量数据可直接用于多线切割时粘棒的调整，有利于提高蓝宝石晶棒多线切割生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 垂直 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置，其特征在于：竖直支架(2)、挡块(7)和量块(8)垂直固定于基座(1)上；测量千分表(5)通过螺丝(10)固定在水平支架(3)上，且与基座(1)的平面平行；水平支架(3)通过螺丝(4)垂直固定于竖直支架(2)上，且与量块(8)垂直。
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