[实用新型]一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构

摘要

本实用新型涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构。本实用新型解决了现有MEMS器件的过载保护方法容易影响MEMS器件的正常工作、容易导致MEMS器件发生结构损坏的问题。一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构，包括质量块、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、两个左锚块、两个右锚块；所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁、两个Ω字形后支撑梁；所述吸能梁部分包括两个左吸能梁、两个右吸能梁、四个断裂点。本实用新型适用于MEMS器件的过载保护。

主权项

一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构，其特征在于：包括质量块（1）、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分；所述锚块部分包括两个前锚块（21）、两个后锚块（22）、两个左锚块（23）、两个右锚块（24）；两个前锚块（21）的后表面分别与质量块（1）的前表面左部和前表面右部正对；两个后锚块（22）的前表面分别与质量块（1）的后表面左部和后表面右部正对；两个左锚块（23）的右表面分别与质量块（1）的左表面前部和左表面后部正对；两个右锚块（24）的左表面分别与质量块（1）的右表面前部和右表面后部正对；所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁（31）、两个Ω字形后支撑梁（32）；两个Ω字形前支撑梁（31）的首端分别与两个前锚块（21）的后表面垂直固定；两个Ω字形前支撑梁（31）的尾端分别与质量块（1）的前表面左部和前表面右部垂直固定；两个Ω字形后支撑梁（32）的首端分别与两个后锚块（22）的前表面垂直固定；两个Ω字形后支撑梁（32）的尾端分别与质量块（1）后表面左部和后表面右部垂直固定；所述吸能梁部分包括两个左吸能梁（41）、两个右吸能梁（42）、四个断裂点（43）；两个左吸能梁（41）的首端分别与两个左锚块（23）的右表面垂直固定；两个左吸能梁（41）的尾端分别与质量块（1）的左表面前部和左表面后部垂直固定；两个右吸能梁（42）的首端分别与两个右锚块（24）的左表面垂直固定；两个右吸能梁（42）的尾端分别与质量块（1）的右表面前部和右表面后部垂直固定；四个断裂点（43）分别设置于两个左吸能梁（41）和两个右吸能梁（42）上。