[实用新型]一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置

摘要

本实用新型公开了一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置，包括箱体，所述箱体一侧通过管道一和管道二连接活性炭柱箱一；所述活性炭柱箱一另一侧通过管道三、管道四、管道五、管道六连接活性炭柱箱二，所述活性炭柱箱二另一侧通过管道七、管道八与水、氧净化柱箱相连，所述水、氧净化柱箱另一侧通过管道九、管道十与所述箱体另一侧相连；本实用新型实现了对箱内气氛的在线监测；水、氧分析仪的有效保护；有机溶剂的高效吸收，并且可以实现相关材料更换过程中箱体的连续使用及箱内气氛的有效保护。可以应用于ALD源工业化生产。

主权项

一种ALD源专用惰性气氛循环手套箱循环系统装置，包括箱体(21)，其特征在于：所述箱体(21)一侧通过管道一(27)和管道二(28)连接活性炭柱箱一(22)；所述活性炭柱箱一(22)另一侧通过管道三(29)、管道四(30)、管道五(31)、管道六(32)连接活性炭柱箱二(23)，所述活性炭柱箱二(23)另一侧通过管道七(33)、管道八(34)与水、氧净化柱箱(24)相连，所述水、氧净化柱箱(24)另一侧通过管道九(35)、管道十(36)与所述箱体(21)另一侧相连；所述管道一(27)与所述管道二(28)之间设有球阀三(3)，所述管道二(28)通过卡套接口一(4)连接所述活性炭柱箱一(22)；所述活性炭柱箱一(22)与所述管道三(29)之间设有卡套接口二(5)，所述管道三(29)与所述管道四(30)之间设有球阀四(6)，所述管道四(30)与所述管道五(31)之间设有水分仪(25)和氧分仪(26)，所述管道五(31)与所述管道六(32)设有球阀七(9)，所述管道六(32)通过卡套接口三(10)连接所述活性炭柱箱二(23)；所述活性炭柱箱二(23)与所述管道七(33)之间设有卡套接口四(11)，所述管道七(33)与所述管道八(34)之间设有球阀九(13)，所述管道八(34)通过卡套接口五(16)与所述水、氧净化柱箱(24)连接；所述水、氧净化柱箱(24)与所述管道九(35)之间设有卡套接口六(17)，所述管道九(35)与所述管道十(36)之间设有球阀十三(19)。