[实用新型]用于在氧化锌陶瓷基片上溅射镀膜形成电极层的掩膜夹具有效
| 申请号： | 201620501560.X | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN206069986U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 叶文超 | 申请（专利权）人： | 苏州米盟智能装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01C17/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于在氧化锌陶瓷基片上溅射镀膜形成电极层的掩膜夹具，其特征在于，包括上模板和与所述上模板相连接的下模板，其中，在所述上模板下表面上形成有用于设置氧化锌陶瓷基片的圆柱形沉隔；以及位于所述圆柱形沉隔上方的圆柱形通孔，其中，所述圆柱形通孔的截面积小于所述圆柱形沉隔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氧化锌 陶瓷 基片上 溅射 镀膜 形成 电极 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于在氧化锌陶瓷基片上溅射镀膜形成电极层的掩膜夹具，包括上模板和与所述上模板相连接的下模板，其中，在所述上模板下表面上形成有：用于设置氧化锌陶瓷基片的圆柱形沉隔；以及位于所述圆柱形沉隔上方的圆柱形通孔，其中，所述圆柱形通孔的截面积小于所述圆柱形沉隔。
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