[实用新型]硅片盒检测架有效
| 申请号： | 201620506869.8 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN205785162U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 林玉往;常清;吴宝佳 | 申请（专利权）人： | 江苏有则科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/32 | 分类号： | G01B21/32;G01B5/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片盒检测架，包括：滑动支架，滑动支架上连接有硅片模板，并带动硅片模板上下移动；导向柱，导向柱插在滑动支架上，并对滑动支架的运动导向；用于连接待检测硅片盒的定位板，定位板固定在导向柱的末端，且定位板具有与硅片模板位置相对应并用于通过硅片模板的通孔，滑动支架沿导向柱滑动以使硅片模板穿过上述通孔并插入待检测硅片盒。本实用新型能快速检查出每个硅片盒的每条轨道的变形点，以便及时修复或更换，大大降低了硅片的不良破损，提高硅片的成品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 检测 | ||
【主权项】：
一种硅片盒检测架，其特征在于，包括：滑动支架(4)，滑动支架(4)上连接有硅片模板(7)，并带动硅片模板(7)上下移动；导向柱(5)，导向柱(5)插在滑动支架(4)上，并对滑动支架(4)的运动导向；用于连接待检测硅片盒(10)的定位板(6)，定位板(6)固定在导向柱(5)的末端，且定位板(6)上设有与硅片模板(7)位置相对应并用于通过硅片模板(7)的通孔(6‑1)，滑动支架(4)沿导向柱(5)滑动以使硅片模板(7)穿过上述通孔(6‑1)并插入待检测硅片盒(10)。
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