[实用新型]可旋转电子束加热样品台

摘要

本实用新型涉及真空蒸镀设备技术领域，尤其是一种可旋转电子束加热样品台。现有用于电子束蒸发加热的样品台结构功能单一，样品在弧形加热台中不能旋转加热，受热不均匀，一定程度上影响加热效率。该可旋转电子束加热样品台包括加热台和底座，加热台上设有半圆凹槽，半圆凹槽底部中心设有中心孔，半圆凹槽两侧通过转轴连接有V型弹簧夹片，半圆凹槽上方设有转动上盖，转动上盖由两个扇形盖板构成，扇形盖板拼接处设有转动销。改进后的可旋转电子束加热样品台结构简单，操作方便，工作稳定可靠，加热室密封性好，样品得到旋转加热，受热均匀，有效提高设备加热效率。

主权项

一种可旋转电子束加热样品台，包括加热台（1）和底座（2），其特征是，所述加热台（1）上设有半圆凹槽（3），半圆凹槽（3）底部中心设有中心孔（4），半圆凹槽（3）两侧通过转轴（5）连接有V型弹簧夹片（6），半圆凹槽（3）上方设有转动上盖（7）。