[实用新型]用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉有效
| 申请号： | 201620721389.3 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN206736402U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;刘强;付红霞;黄振华;冯加保 | 申请（专利权）人： | 青海拓日新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 810007 青海省*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够提高生产效率的用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉。该单晶炉通过在氩气管上设置有流量控制阀，可以随着单晶硅拉制的不断进行，在保证晶棒不被氧化的前提下，通过调节流量控制阀，逐渐减小氩气的供应量，从而节约氩气，同时，氩气的供应量减小还避免了氩气进入单晶炉后再从抽气孔中排出的过程中带走大量的热量，可以大大降低加热器的能耗，实现节能减排，另外，所述流量控制阀上连接有控制开关，所述控制开关上连接有计时器，通过预先设定计时器的时间，当计时器到达设定的时间，控制开关工作，进而对流量控制阀进行调节，整个过程无需工人进行现场监控，大大降低了工人的劳动强度。适合在单晶生产设备领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 直拉法 生产 单晶硅 单晶炉 | ||
【主权项】：
用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定，所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4)，石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5)，所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6)，还包括氩气管(7)与氩气源(15)，所述氩气源(15)与氩气管(7)通过进气管(14)相连，所述氩气管(7)的末端穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内，其特征在于：所述氩气管(7)上设置有流量控制阀(8)，所述流量控制阀(8)上连接有控制开关(9)，所述控制开关(9)上连接有计时器(10)。
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