[实用新型]一种镀膜机真空室恒压自动控制系统有效
| 申请号： | 201620751949.X | 申请日： | 2016-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN205839123U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 韩登科;张朝奎;于有河 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机真空室恒压自动控制系统，所述PLC控制器包括第一PID控制器、第二PID控制器、D/A模块、A/D模块、第一定位模块和第二定位模块，所述第一PID控制器的输出端与D/A模块的输入端信号连接，所述D/A模块的输出端与质量流量计数器信号连接，所述质量流量计数器与压力控制器电性连接，所述压力控制器与真空规管检测元件的输入端信号连接，所述真空规管检测元件的输出端与A/D模块的输入端信号连接，在抽速恒定的情况下，改变流量计的充气量来恒定某一个压强；在充气量恒定的情况下，改变抽速来恒定某一个压强；针对不同的工具涂层来制定不同的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 真空 室恒压 自动控制系统 | ||
【主权项】：
一种镀膜机真空室恒压自动控制系统，包括PLC控制器，其特征在于：所述PLC控制器包括第一PID控制器、第二PID控制器、D/A模块、A/D模块、第一定位模块和第二定位模块，所述第一PID控制器的输出端与D/A模块的输入端信号连接，所述D/A模块的输出端与质量流量计数器信号连接，所述质量流量计数器与压力控制器电性连接，所述压力控制器与真空规管检测元件的输入端信号连接，所述真空规管检测元件的输出端与A/D模块的输入端信号连接，所述第二PID控制器的输出端与第一定位模块的输入端信号连接，所述第一定位模块的输出端与伺服节流阀信号连接，所述伺服节流阀与压力控制器电性连接，所述压力控制器与真空规管检测元件信号连接，所述真空规管检测元件输出端与第二定位模块的输入端信号连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连维钛克科技股份有限公司，未经大连维钛克科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620751949.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种真空镀膜机
- 下一篇：低温低压类金刚石膜化学气相沉积反应腔
- 同类专利
- 专利分类
