[实用新型]一种硅片甩干桶的开门自动化装置有效

专利信息
申请号: 201620764729.0 申请日: 2016-07-20
公开(公告)号: CN205940102U 公开(公告)日: 2017-02-08
发明(设计)人: 李斌 申请(专利权)人: 洛阳鸿泰半导体有限公司
主分类号: F26B25/12 分类号: F26B25/12;F26B5/08
代理公司: 洛阳明律专利代理事务所(普通合伙)41118 代理人: 李路平
地址: 471023 河南省洛阳市高*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种硅片甩干桶的开门自动化装置,涉及电气控制半导体加工技术领域,由桶体、控制面板、传感器、旋转盘、支撑杆和盖子构成,在桶体上设有盖子、控制面板、传感器和旋转盘,桶体的顶部设有盖子和旋转盘,旋转盘一侧的桶体上设有控制面板,盖子上设有支撑杆,盖子通过支撑杆与桶体相连接,旋转盘设置在桶体顶部,旋转盘一侧设有传感器,所述控制面板由开门按钮、启动按钮和关门按钮构成,开门按钮、启动按钮和关门按钮均设置在桶体的侧面上,在桶体内设有控制器,控制器内设有变频器;本实用新型实用性强,使用起来比较简单,不但可以自动控制桶体的工作,而且也可以手动对桶体进行控制,以此来达到提高甩干硅片效率的目的。
搜索关键词: 一种 硅片 甩干桶 开门 自动化 装置
【主权项】:
一种硅片甩干桶的开门自动化装置,包括桶体、控制面板、传感器、旋转盘、支撑杆和盖子,其特征是:在桶体上设有盖子、控制面板、传感器和旋转盘,桶体的顶部设有盖子和旋转盘,旋转盘一侧的桶体上设有控制面板,盖子上设有支撑杆,盖子通过支撑杆与桶体相连接,旋转盘设置在桶体顶部,旋转盘一侧设有传感器,所述控制面板由开门按钮、启动按钮和关门按钮构成,开门按钮、启动按钮和关门按钮均设置在桶体的侧面上,在桶体内设有控制器,控制器内设有变频器。
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