[实用新型]一种半导体仪器净化装置有效
| 申请号： | 201620989882.3 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206334490U | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体仪器净化装置，该装置包括进气单元、密封箱及排气单元。进气单元与密封箱相连，进气单元向密封箱输入气体；半导体仪器的运动系统设置在密封箱内，半导体仪器的运动系统与半导体仪器的采集系统连接；密封箱与排气单元相连，密封箱的灰尘伴随气体经排气单元排出。本实用新型提供的半导体仪器净化装置，进气单元向密封箱输入气体，半导体仪器的运动系统设置在所述密封箱内，密封箱的灰尘伴随气体经排气单元排出；在密封箱内部建立了空气单向循环系统，使机械运动元件摩擦产生的颗粒会快速被排出，且不会扩散至半导体芯片附近，防止污染半导体芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 仪器 净化 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体仪器净化装置，其特征在于，所述装置包括：进气单元、密封箱及排气单元；所述进气单元与所述密封箱相连，所述进气单元向所述密封箱输入气体；半导体仪器的运动系统设置在所述密封箱内，半导体仪器的运动系统与半导体仪器的采集系统连接；所述密封箱与所述排气单元相连，所述密封箱的灰尘伴随所述气体经所述排气单元排出。
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