[实用新型]一种自动调节的斜入射光路

摘要

本实用新型属于光学技术领域，公开了一种自动调节的斜入射光路，包括激光器；第一反射镜，使光束斜入射至样品台表面，由电动旋转镜架控制旋转角度；第二反射镜；分束器；位置探测器，探测得到第二子坐标系中光束中心位置；控制单元，获取第二子坐标系中光束中心位置，计算得出第一子坐标系中光束中心位置，计算得到第一反射镜需要调整的角度，通过发布指令传递给电动旋转镜架，从而调整第一反射镜的旋转角度；本实用新型解决了现有技术中不能自动监控和调节反射镜，且在反射镜发生偏移后，校准精度较低、难度较大、花费时间较长的问题；达到了调节精度高、难度低、时间短的技术效果。

主权项

一种自动调节的斜入射光路，其特征在于，所述光路包括：激光器，所述激光器发出光束；第一反射镜，所述第一反射镜改变所述光束的传播方向，使所述光束斜入射至样品台表面；所述第一反射镜由电动旋转镜架控制旋转角度；第二反射镜，所述第二反射镜改变经所述样品台反射出的光束的传播方向；分束器，经所述第二反射镜反射后的光束入射至所述分束器中；所述分束器将所述光束分为第一光束和第二光束；位置探测器，所述第一光束入射至所述位置探测器中；所述位置探测器探测得到第二子坐标系中光束中心位置；控制单元，所述控制单元获取所述第二子坐标系中光束中心位置；所述控制单元根据所述第二子坐标系中光束中心位置计算得出第一子坐标系中光束中心位置；所述控制单元根据所述第一子坐标系中光束中心位置计算得到所述第一反射镜需要调整的角度；所述控制单元将所述需要调整的角度通过发布指令传递给所述电动旋转镜架，从而调整所述第一反射镜的旋转角度。