[实用新型]一种双辉渗金属源极辅助阴极筒有效
| 申请号： | 201621039475.2 | 申请日： | 2016-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN206127413U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 徐晋勇;王健;高波;罗奕;张应红;孙宁;高鹏;唐亮;王岩 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 | 代理人： | 但玉梅 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双辉渗金属源极辅助阴极筒，属于离子渗金属辅助阴极技术领域。一种双辉渗金属源极辅助阴极筒，包括呈筒身和基座，所述筒身设置在基座上端；所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔，所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧；所述基座为中空结构，且基座和筒身之间隔有底盘；所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽，且围绕该凹槽还设有若干的通孔。本实用新型提供能够防止源极熔融而造成的装置报废，保证渗金属均匀和实现多元、多物理形态的双辉渗金属。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双辉渗 金属 辅助 阴极 | ||
【主权项】：
一种双辉渗金属源极辅助阴极筒，包括呈筒身和基座，所述筒身设置在基座上端；其特征在于：所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔，所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧；所述基座为中空结构，且基座和筒身之间隔有底盘；所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽，且围绕该凹槽还设有若干的通孔。
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