[实用新型]一种高效便捷的半导体研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种高效便捷的半导体研磨装置，包括研磨装置本体、第一电动机、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、第二研磨石、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机和滴定管，所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的内部下端与第三电动机固定连接；所述第三电动机的转动端通过轴承与研磨载料台中间固定连接。该实用新型的有益效果是研磨抛光效果好，使用便捷和工作效率高。

主权项

一种高效便捷的半导体研磨装置，包括研磨装置本体（1）、第一电动机（2）、研磨液储存桶（3）、第一电动伸缩杆（4）、第一研磨石（5）、研磨载料台（6）、第三电动机（7）、钢化玻璃窗（8）、安全防护门（9）、第二研磨石（10）、折页（11）、第二电动伸缩杆（12）、轴承（13）、第二电动机（14）、注料漏斗（15）、滴定管（16）和开关阀门（17），其特征在于：所述研磨装置本体（1）的左上端与第一电动机（2）固定连接；所述第一电动机（2）的转动端通过轴承（13）与第一电动伸缩杆（4）的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆（4）的伸缩杆端部与第一研磨石（5）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右上端与第二电动机（14）固定连接；所述第二电动机（14）的转动端通过轴承（13）与第二电动伸缩杆（12）的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆（12）的伸缩杆端部与第二研磨石（10）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的中上端与研磨液储存桶（3）固定连接；所述研磨液储存桶（3）的下端与滴定管（16）的上端连接；所述研磨装置本体（1）的内部下端与第三电动机（7）固定连接；所述第三电动机（7）的转动端通过轴承（13）与研磨载料台（6）中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右端设置有安全防护门（9）；所述安全防护门（9）通过折页（11）与研磨装置本体（1）铰接；所述安全防护门（9）的中间与钢化玻璃窗（8）固定连接。