[实用新型]硅片研磨液小型氮气加湿装置

摘要

本实用新型涉及半导体硅片研磨技术领域，具体地说是一种硅片研磨液小型氮气加湿装置，包括设备柜体，设备柜体内设置有抽风装置、超纯水缓冲罐、氮气加湿器灌、热水器传感器、氮气冷凝器、湿度传感器、氮气过滤器，抽风装置通过管道连接超纯水缓冲罐，超纯水缓冲罐的出水口通过管道连接氮气加湿器灌，超纯水缓冲罐内设置有液位传感器，氮气加湿器灌的进气口通过管道连接氮气过滤器，氮气加湿器灌上设置有热水器传感器，氮气加湿器灌的出气口通过管道连接氮气冷凝器，氮气冷凝器的出气口通过管道连接湿度传感器；本实用新型同现有技术相比，保证了氮气的含水率，同时提高了N2的利用率，提高了工作效率也提高了产能，降低了生产成本也更加环保。

主权项

一种硅片研磨液小型氮气加湿装置，其特征在于：包括设备柜体(1)，所述设备柜体(1)内设置有抽风装置(2)、超纯水缓冲罐(3)、氮气加湿器灌(4)、热水器传感器(5)、氮气冷凝器(6)、湿度传感器(9)、氮气过滤器(10)，所述抽风装置(2)通过管道连接超纯水缓冲罐(3)，所述超纯水缓冲罐(3)的出水口通过管道连接氮气加湿器灌(4)，所述超纯水缓冲罐(3)内设置有液位传感器，所述氮气加湿器灌(4)的进气口通过管道连接氮气过滤器(10)，所述氮气加湿器灌(4)上设置有热水器传感器(5)，所述氮气加湿器灌(4)的出气口通过管道连接氮气冷凝器(6)，所述氮气冷凝器(6)的出气口通过管道连接湿度传感器(9)。