[实用新型]大面积激光加热系统

摘要

本实用新型提供一种大面积激光加热系统，其包含激光模块、反应模块以及导引模块。激光模块包含用以发射激光光束的垂直腔面发射激光器以及连接于垂直腔面发射激光器的激光调整机构，其中垂直腔面发射激光器所发射的激光光束的入射角通过所述激光调整机构进行调整。反应模块包含用于承载样品的样品架。导引模块连接于激光模块以及反应腔体之间，其中垂直腔面发射激光器所发射的激光光束通过导引模块以导引至样品的表面。本实用新型的大面积激光加热系统在实现大面积加热的同时，还可增加制造稳定性并降低设备维护的成本。

主权项

一种大面积激光加热系统，其特征在于，所述大面积激光加热系统包含：一激光模块，其包含至少一用以发射至少一激光光束的垂直腔面发射激光器以及一连接于至少一所述垂直腔面发射激光器的激光调整机构，其中至少一所述垂直腔面发射激光器所发射的至少一所述激光光束的入射角通过所述激光调整机构进行调整；一反应模块，其包含一用于承载一样品的样品架；以及一导引模块，其连接于所述激光模块以及所述反应模块之间，其中至少一所述垂直腔面发射激光器所发射的至少一所述激光光束通过所述导引模块，以导引至所述样品的表面。