[实用新型]薄膜X射线衍射原位测试装置有效
申请号: | 201621060031.7 | 申请日: | 2016-09-18 |
公开(公告)号: | CN206074486U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 王瑞;刘春泽;朱大明;顾月良;阴广志;李晓龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | G01N23/20 | 分类号: | G01N23/20;G05D27/02 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种薄膜X射线衍射原位测试装置,包括一冷热台腔体和与其相连的一温度控制机构及一冷却机构,所述冷热台腔体包括可拆卸连接的一样品台底座和一压盖,所述压盖与所述样品台底座配合形成一内腔;还包括一湿度控制机构,所述湿度控制机构连接所述冷热台腔体。本实用新型的一种薄膜X射线衍射原位测试装置可对反应腔体进行高低温控制、湿度控制并可实现原位的电学测试功能,具有调节自由度大、调节精度高、操作便捷、安全度高和成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 射线 衍射 原位 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜X射线衍射原位测试装置,包括一冷热台腔体和与其相连的一温度控制机构及一冷却机构,所述冷热台腔体包括可拆卸连接的一样品台底座和一压盖,所述压盖与所述样品台底座配合形成一内腔;其特征在于,还包括:一湿度控制机构,所述湿度控制机构连接所述冷热台腔体。
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