[实用新型]孔洞及膜厚自动化检测装置

摘要

本实用新型公开一种孔洞及膜厚自动化检测装置。孔洞及膜厚自动化检测装置检测表面具有多个孔洞的基材。孔洞及膜厚自动化检测装置包括光学量测单元、处理单元及电性连接于处理单元的回馈单元。光学量测单元用以撷取在基材表面的待测区的待测区影像以及从待测区获得反射光谱信息，待测区影像包括至少一孔洞的孔洞影像。处理单元电性连接于光学量测单元，并根据接收的待测区影像及反射光谱信息计算对应的至少一孔洞的孔洞参数，再通过回馈单元将孔洞参数回馈到一制程端以优化制程参数。本实用新型的孔洞及膜厚自动化检测装置可通过电性连接于穿孔装置与处理单元之间的回馈单元，将已测得的孔洞参数回馈到制程端以优化制程参数。

主权项

一种孔洞及膜厚自动化检测装置，其用以检测具有多个孔洞的一基材，其特征在于，所述孔洞及膜厚自动化检测装置包括：一光学量测单元，所述光学量测单元从所述基材表面的一待测区中同时撷取一待测区影像以及获得一反射光谱信息，其中，所述待测区影像包括具有至少一所述孔洞的一孔洞影像；用以接收所述反射光谱信息与所述孔洞影像的一处理单元，其电性连接于所述光学量测单元，其中，所述处理单元根据所接收的所述待测区影像以及所述反射光谱信息，以计算出对应于至少一所述孔洞的一孔洞参数；以及一回馈单元，其电性连接于所述处理单元，其中，所述处理单元通过所述回馈单元，以将所述孔洞参数回馈到一制程端。