[实用新型]晶圆清洗机有效
申请号: | 201621063171.X | 申请日: | 2016-09-19 |
公开(公告)号: | CN206382286U | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 李健;张彦平;黄建军;李成江;张明思 | 申请(专利权)人: | 深圳市凯尔迪光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/08;F26B21/10 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公明办事处田*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆清洗机,包括清洗罐以及与清洗罐可形成密封盖合的上盖,还包括设于清洗罐内用于固定晶圆的固定盘,用于存放乙醇的乙醇箱体,用于存放清洗液的清洗液箱体以及若干管道;上盖设有排气口,清洗罐内安装有超声波震板,上盖的内侧面设有向清洗罐内喷淋清洗液的喷嘴,清洗液箱体的排液口通过设有的管道与喷嘴连接;清洗罐底部设有排液口,乙醇箱体的排液口通过管道与清洗罐的进液口连接,清洗罐的底部设有压缩空气的进气管,进气管内设有加热器以及检测进气管内气体温度的测温探头。它的优点是结合清洗液和超声波对晶圆表面的污垢进行清洗,能够快速干净的清洗晶圆表面的污垢,再通过热空气将晶圆烘干处理,提高了晶圆的清洗效率和速度,同时还能对晶圆进行烘干,工艺简单。 | ||
搜索关键词: | 清洗 | ||
【主权项】:
一种晶圆清洗机,包括清洗罐以及与清洗罐可形成密封盖合的上盖,其特征在于,还包括设于清洗罐内用于固定晶圆的固定盘,用于存放乙醇的乙醇箱体,用于存放清洗液的清洗液箱体以及若干管道;所述上盖设有排气口,所述清洗罐内安装有超声波震板,所述上盖的内侧面设有向清洗罐内喷淋清洗液的喷嘴,所述清洗液箱体的排液口通过设有的管道与喷嘴连接;所述清洗罐底部设有排液口,所述乙醇箱体的排液口通过管道与清洗罐的进液口连接,所述清洗罐的底部设有压缩空气的进气管,所述进气管内设有加热器以及检测进气管内气体温度的测温探头。
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