[实用新型]一种防止硅蒸汽溢出的坩埚有效
申请号: | 201621063259.1 | 申请日: | 2016-09-19 |
公开(公告)号: | CN206467334U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 朱灿;李斌;张亮 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B19/06 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 苗峻,杨婷 |
地址: | 250000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于碳化硅晶体生长技术领域,具体涉及一种防止硅蒸汽溢出的坩埚,包括坩埚盖和坩埚,坩埚顶部设有至少一个凹槽,坩埚盖上设有至少一个与凹槽相适应的凸起,凹槽和相应凸起之间形成曲折通道。本实用新型结构简单,通过特殊的结构设计使得坩埚与坩埚盖之间形成一条狭长曲折的通道,硅蒸汽在沿着通道逸出的过程中,会逐渐凝结,完全封死通道,保证硅蒸汽不泄露,进而保护外面的保温材料,降低生产成本。本实用新型不要求石墨件的加工精度,生长过程中就可以达到完全密封的效果,有效的降低了石墨件的加工成本,同时延长了保温材料的寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 蒸汽 溢出 坩埚 | ||
【主权项】:
一种防止硅蒸汽溢出的坩埚,包括坩埚盖(1)和坩埚(2),其特征在于:坩埚(2)顶部设有至少一个凹槽(3),坩埚盖(1)上设有至少一个与凹槽(3)相适应的凸起(4),凹槽(3)和相应凸起(4)之间形成曲折通道(5);所述的凹槽(3)内设有密封柔性材料。
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