[实用新型]一种恒温槽装置有效
| 申请号： | 201621080014.X | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN206148406U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 杨健;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/228;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种恒温槽装置；其包括槽体，槽体内设置有箱体，箱体内设置有若干个源瓶，槽体外沿竖直方向设置有液位管，液位管的底部沿水平方向设置有进水管，进水管连接箱体，液位管上设置有液位感应器，液位管的顶部设置有纯水储存器，纯水储存器设置有与液位管相导通的纯水添加口以及控制纯水添加口开关的控制元件，当液位感应器感应到液位管的液位低于预设值时，控制元件控制添加口打开以向箱体内注水；本实用新型的恒温槽装置，其槽体外设置纯水储存器，通过液位感应器和控制元件实现箱体的自动注水，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 恒温槽 装置 | ||
【主权项】：
一种恒温槽装置，包括槽体(1)，其特征在于，所述槽体(1)内设置有箱体，所述箱体内设置有若干个源瓶(5)，所述槽体(1)外沿竖直方向设置有液位管(6)，所述液位管(6)的底部沿水平方向设置有进水管(7)，所述进水管(7)连接所述箱体，所述液位管(6)上设置有液位感应器(8)，所述液位管(6)的顶部设置有纯水储存器(9)，所述纯水储存器(9)设置有与所述液位管(6)相导通的纯水添加口以及控制所述纯水添加口开关的控制元件，当所述液位感应器(8)感应到所述液位管(6)的液位低于预设值时，所述控制元件控制所述添加口打开以向所述箱体内注水。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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