[实用新型]一种碳化硅加工用脱胶加热板有效
| 申请号： | 201621084466.5 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN206181405U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/28 | 分类号： | H05B3/28;H05B3/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅加工用脱胶加热板。其包括加热板，所述加热板的内腔设有加热管，所述加热板的内腔底部设有导电板，所述导电板上均匀开有插孔，所述加热板的顶端设有导热铝基板，所述导热铝基板的底端均匀设有受热凸点，所述受热凸点位于加热板的内腔上方，所述加热板的内壁均匀设有温度感应器，所述温度感应器电性连接设在隔热层底端的控制装置，所述隔热层位于加热板的底端，所述控制装置电性连接导电板和报警器，所述报警器设在加热板的右侧。该碳化硅加工用脱胶加热板结构简单，使用安全，方便更换，能够快速达到准确的热脱离温度，提高了工作效率，降低了能耗及人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 工用 脱胶 加热 | ||
【主权项】：
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