[实用新型]一种带有多气缸的真空炉密封机构有效
| 申请号： | 201621108787.4 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN206208018U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 林茂昌 | 申请（专利权）人： | 上海金克半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 上海骁象知识产权代理有限公司31315 | 代理人： | 赵俊寅 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型为涉及一种带有多气缸的真空炉密封机构，包括炉体、行走机构、气动机构，其中，所述行走机构包括两条相互平行的行走边条，在所述行走边条上设有滑道，所述行走边条的底部通过连接板连接固定；在所述连接板上设有升降气缸，在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨，所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内；气动机构包括炉门，所述炉门上固定有多个支撑杆，所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上；所述炉门上还固定有第一气缸，所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。有益效果是采用升降气缸保证了炉门的开启快速方便，操作简单，同时气缸机构可以保证炉门和炉口的紧密挤压，真空密封效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 气缸 真空炉 密封 机构 | ||
【主权项】：
一种带有多气缸的真空炉密封机构，其特征在于，包括：炉体，包括炉口，在所述炉口上设有密封环；行走机构，固定在所述炉口上，包括两条相互平行的行走边条，在所述行走边条上设有滑道，所述行走边条的底部通过连接板连接固定；在所述连接板上设有升降气缸，在所述升降气缸的升降杆上设有动导轨，所述动导轨的两端分别嵌入所述行走边条的滑道内；气动机构，包括炉门，所述炉门上固定有多个支撑杆，所述支撑杆穿过所述动导轨并使得所述炉门固定在所述动导轨上；所述炉门上还固定有第一气缸，所述第一气缸的气缸杆的顶端与所述动导轨相抵触。
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