[实用新型]一种复合式压电变形镜有效
| 申请号： | 201621113020.0 | 申请日： | 2016-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN206161956U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 马剑强;朱正雄;田雷;章家连 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 杭州千克知识产权代理有限公司33246 | 代理人： | 黄芳 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种复合式压电变形镜，包括单压电变形镜和单压电执行器阵列，单压电变形镜设置在单压电执行器阵列的上方，并通过连接在单压电执行器阵列上的连接柱支撑；单压电变形镜由从上往下依次设置的光学反射层、第一弹性层、作为公共地的正面电极层、第一压电层、背面电极层；单压电执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电执行器，每个单压电执行器包括第二弹性层和第二压电层，第二压电层的两面均覆盖有电极层，每个单压电执行器上均连接有支撑用的连接柱。本实用新型由上、下两层的压电变形镜组合而成，在集成化程度上更高，提升整体校正性能，提高了变形镜的工作带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 压电 变形 | ||
【主权项】：
一种复合式压电变形镜，其特征在于：包括单压电变形镜和单压电执行器阵列，单压电变形镜设置在单压电执行器阵列的上方，并通过连接在单压电执行器阵列上的连接柱支撑；单压电变形镜由从上往下依次设置的光学反射层、第一弹性层、作为公共地的正面电极层、第一压电层、背面电极层；单压电执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电执行器，每个单压电执行器包括第二弹性层和第二压电层，第二压电层的两面均覆盖有电极层，每个单压电执行器上均连接有支撑用的连接柱。
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