[实用新型]一种四氯化硅汽化装置有效
申请号: | 201621117670.2 | 申请日: | 2016-10-13 |
公开(公告)号: | CN206069388U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 马军;蒋立民;胡永吉 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 施翔宇 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种四氯化硅汽化装置,包括氢气加热器、四氯化硅加热器、静态混合器和四氯化硅汽化塔,其中,所述静态混合器的底部通过管道与四氯化硅汽化塔的顶部或上部相连接;所述静态混合器的顶部通过管道与氢气加热器相连接;静态混合器的中部通过管道与四氯化硅加热器相连接。采用本实用新型所提供的四氯化硅汽化装置,液相四氯化硅与氢气在静态混合器中可以实现40%的汽化,继而在汽化器中实现完全汽化,该设备提高了四氯化硅汽化速度,极大地降低了下一工序中汽化塔的负荷,保证汽化塔运行更大处理量,同时极大降低了多晶硅的生产能耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 氯化 汽化 装置 | ||
【主权项】:
一种四氯化硅汽化装置,其特征在于,包括氢气加热器、四氯化硅加热器、静态混合器和四氯化硅汽化塔,其中,所述静态混合器的底部通过管道与四氯化硅汽化塔的顶部或上部相连接;所述静态混合器的顶部通过管道与氢气加热器相连接;静态混合器的中部通过管道与四氯化硅加热器相连接。
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