[实用新型]一种硅晶体平面磨削装置

摘要

本实用新型涉及一种硅晶体平面磨削装置，其包括拖动行走单元、主轴单元和主轴驱动单元；拖动行走单元包括拖动单元底板、拖动单元上板和主轴座，拖动单元底板上装有直线导轨、拖动行走电机和丝杠传动机构，拖动单元上板与直线导轨滑动配合，丝杠传动机构与拖动单元上板连接，主轴座与所述拖动单元上板固定，行走电机通过丝杠传动机构驱动拖动单元上板和主轴座进行水平移动；主轴单元包括安装在主轴座上的主轴，主轴的输入端固定设置有从动带轮，输出端通过砂轮架设置有磨削砂轮；主轴驱动单元包括固定设置在主轴座上的主轴驱动电机和设置在所述主轴驱动电机输出轴端部的主动带轮，主动带轮和从动带轮通过多楔带传动连接。

主权项

一种硅晶体平面磨削装置，其特征在于：其包括拖动行走单元、主轴单元和主轴驱动单元；所述拖动行走单元包括拖动单元底板（11）、拖动单元上板（8）和主轴座（7），所述拖动单元底板（11）上装有直线导轨（14）、拖动行走电机（9）和丝杠传动机构（13），所述拖动单元上板（8）与所述直线导轨（14）滑动配合，所述丝杠传动机构（13）与所述拖动单元上板（8）连接，所述主轴座（7）与所述拖动单元上板（8）固定，拖动行走电机（9）通过丝杠传动机构（13）驱动所述拖动单元上板（8）和主轴座（7）进行水平移动；所述主轴单元包括安装在主轴座（7）上的主轴（5），所述主轴（5）的输入端固定设置有从动带轮（6），输出端通过砂轮架（17）设置有磨削砂轮（18）；所述主轴驱动单元包括固定设置在所述主轴座（7）上的主轴驱动电机（2）和设置在所述主轴驱动电机（2）输出轴端部的主动带轮（3），所述主动带轮（3）和从动带轮（6）通过多楔带（4）传动连接。