[实用新型]一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置有效
| 申请号： | 201621136819.1 | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN206194702U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 范子敬 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立,李蕾 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，晶圆快速热处理设备中设有反应腔体，所述反应腔体中分布安装有产生热量的多个灯泡，包括平板罩子，所述平板罩子与所述反应腔体的形状和大小相匹配，所述平板罩子上设有多个圆孔，所述圆孔的个数与所述灯泡的个数相同，多个所述圆孔在所述平板罩子上分布的位置分别与多个所述灯泡在所述反应腔体中分布的位置一一对应，且任意相邻两个所述圆孔之间的距离与相对应的两个所述灯泡之间的距离相等。本实用新型可以方便又快捷的寻找出坏的灯泡更换新的灯泡，维修设备效率大大提高，给生产线增加产能提供一定的贡献。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 更换 快速 热处理 设备 灯泡 装置 | ||
【主权项】：
一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，晶圆快速热处理设备中设有反应腔体(1)，所述反应腔体(1)中分布安装有产生热量的多个灯泡(2)，其特征在于：包括平板罩子(3)，所述平板罩子(3)与所述反应腔体(1)的形状和大小相匹配，所述平板罩子(3)上设有多个圆孔(4)，所述圆孔(4)的个数与所述灯泡(2)的个数相同，多个所述圆孔(4)在所述平板罩子(3)上分布的位置分别与多个所述灯泡(2)在所述反应腔体(1)中分布的位置一一对应，且任意相邻两个所述圆孔(4)之间的距离与相对应的两个所述灯泡(2)之间的距离相等。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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